当研究室で所有、または、田中三郎研究室と共同運営している装置群について、
「設計」・「作製」・「評価」に分けて、以下にその一部をご紹介します。
- 設計ツール
- ・２次元電磁界解析ソフトウェア （ソネット技研社製 Sonnet）
・３次元電磁界解析ソフトウェア （アンシス社製 HFSS）
・光学設計ソフトウェア （Zemax社製 OpticStudio）
etc ...
- 作製プロセスライン
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① 低温超伝導薄膜用DCスパッタ装置
ヤシマ社製 R-50DST
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② 高温超伝導成膜用RFスパッタ装置
カスタマイズ品
（田中研所有） -
③ Arイオンミリング装置
カスタマイズ品
（田中研所有） -
④ 金コーティング装置
サンユー電子社製 SC-701AT
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⑤ ダイシングソー
ディスコ社製 DAD322
（田中研所有） -
⑥ ワイヤボンダー
超音波工業社製
（田中研所有） -
⑦ スピンコーター
ミカサ社製 MS-A100
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⑧ マスクアライナー
ミカサ社製 MA-10
（田中研所有） -
⑨ レーザー顕微鏡
キーエンス社製 VK-8510
（田中研所有）
- 評価システム
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① テラヘルツ帯フーリエ変換分光器
日本分光社製 FARIS-S
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② He3冷凍機システム
仁木工芸社製
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③ He4冷凍機
仁木工芸社製
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④ テラヘルツ黒体炉
アイアールシステム社製 SR2-33
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⑤ ネットワークアナライザ
アジレントテクノロジー社製 E8362C
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⑥ ヘリウムリークディテクタ
インフィコン社製 Model1000
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⑦ 走査プローブ顕微鏡
米国 Mad City Labs 社製 SPM-M Kit