主な装置一覧

 当研究室で所有、または、田中三郎研究室と共同運営している装置群について、
「設計」・「作製」・「評価」に分けて、以下にその一部をご紹介します。


設計ツール
・2次元電磁界解析ソフトウェア (ソネット技研社製 Sonnet)
・3次元電磁界解析ソフトウェア (アンシス社製 HFSS)
・光学設計ソフトウェア (Zemax社製 OpticStudio)
etc ...
 
作製プロセスライン


評価システム